ダイシング
ダイシング加工 ― Dicing
ステップカット、シングルカット方式を活用しお客様のニーズに合わせた品質をご提供致します。TEG除去、極小チップ、薄型化ウエハの切り出しに対応いたします。また、『変則サイズチップ切り出し』においても、得意分野としています。対象:シリコン(他材質は別途検討致します)
ダイシングプロセス
対応一覧 サイズ |
投入厚 | 仕上げ サイズ |
スクライブ 幅 |
各種 表面膜 |
ブレード 番手 |
特殊カット | その他 |
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3,4inch | 要検討(一部マニュアルにて対応可) | 各種規格/要望に応じて | 各種仕様に 応じた変則 的なカット |
ガラス等の ステイクリン完備(金属膜の腐食抑制) |
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5inch | 0.100mm ~適宜 |
□0.300mm~ 短冊系各種 |
0.40mm ~適宜 |
○ | |||
6inch | ○ | ||||||
8inch | ○ | ||||||
12inch | ○ |